水系洗浄機において、水切りにIPAを使用している場合、水とIPAを分離しIPAを再利用する装置です。

地球環境問題のひとつであるオゾン層破壊の最大原因であると考えられるフロンは精密洗浄においては最終工程での水切り乾燥に無くてはならない物でした。フロンの優れた特性は人体にとって殆ど無害であること、水に溶解しないため水切り乾燥に使用されたフロンは容易に水と分離され再使用することが出来ることでした。

ところが、フロンがオゾン層破壊の原因として全廃が決定されたため、精密洗浄分野では代替え溶剤を必要とするようになりました。この代替え溶剤の一つにIPA（イソプロピルアルコール）があります。しかし、IPAはフロンと違い水と溶け合うため、水を除去し再使用することが困難で、蒸留分離を行っても共沸混合物になり12wt％の水は分離されず、これ以上に水抜きをするには三元共沸を利用するかパーベーパレーション膜で行わなければなりませんでした。本装置はこれらの方法と異なり、結晶水を有する化合物により、IPAの水分を吸着除去する方法を採用することで、純度99.0wt％以上のIPAの回収再使用を実現することができるようになりました。