SD-2M11912 ガラス基板用自動超音波洗浄装置
仕様は一例です。ご要望に応じてカスタムメイドの洗浄機を作製いたします。
搬入コンベア | No.1 | No.2 | No.3 | No.4 | No.5 | No.6 | No.7 | No.8 | |
液名 | 洗剤A | 洗剤A | シャワー | 洗剤B | 湯洗 | 湯洗 | 純水 | 純水 | |
液温 | 45℃～ | 45℃～ | 水温 | 40℃～ | 成行き | 成行き | 常温 | 常温 | |
液量 | 約26L | 約26L | ― | 約26L | 約26L | 約28L | 約26L | 約28L | |
超音波 | 600W 28KHz | 600W 37KHz | ― | 600W 200KHz | 300W 28KHz | 300W 37KHz | 300W 37KHz | 600W 200KHz | |
揺動 40ST 8～3回/分 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | |
液低下 検知用 圧力 SW | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | 有 | |
ポンプ | マグネット | マグネット | マグネット | ― | SUS カスケード | ― | ― | ||
フィルター | 50μ | 30μ | 30μ | ― | 30μ | ― | ― | ||
その他 | 4個 チャージ | No.3貯槽へOF | No.5へOF | No.6貯槽へOF | No.8へOF | ||||
貯槽 液量 | 約110L | 約40L | 約55L | 約40L | |||||
貯槽 ヒーター | 5KW×2本 | 5KW×1本 | |||||||
貯槽 その他 | 冷却コイル フロートSW | フロートSW | 冷却コイル フロートSW | フロートSW |
