
概要
(一般加熱・ボトル加熱・真空容器内加熱)
直管タイプのハロゲンヒーター以外にも端部を曲げた L字形やコの字形 ヒーターなど、 幅の広い対象物(シート状)に対し並列設置によりヒーター間隙を小さして集中加熱する用途でも使用されます。
直管ハロゲンランプをセラミックベースを使い2本並列にしたツインヒーター。
直管タイプのハロゲンヒーター以外にも端部を曲げた L字形やコの字形 ヒーターなど、 幅の広い対象物(シート状)に対し並列設置によりヒーター間隙を小さして集中加熱する用途でも使用されます。
直管ハロゲンランプをセラミックベースを使い2本並列にしたツインヒーター。
用途
ランプアニール
面状加熱
純水・薬液加熱
ウエハ加熱
面状加熱
純水・薬液加熱
ウエハ加熱
仕様書(特殊仕様)直管タイプ
