概要
（一般加熱・真空容器内加熱）
ハロゲンランプの発熱管を円形に曲げたリングヒーター、コイル状に曲げたスパイラルヒーター。
円形、円筒対象物の加熱や、大きな円盤状の対象物へリングヒーターを同心円状に配列し加熱します。(CVD他)
ハロゲンランプの発熱管を円形に曲げたリングヒーター、コイル状に曲げたスパイラルヒーター。
円形、円筒対象物の加熱や、大きな円盤状の対象物へリングヒーターを同心円状に配列し加熱します。(CVD他)
用途
円筒形状加熱
ウエハ加熱
面状加熱
ウエハ加熱
面状加熱
仕様書（特殊仕様）リングヒーター
