本特許は、IPAベーパー乾燥装置の熱源に「ハロゲンランプによる輻射加熱」を採用したことを最大の特徴としています。ハロゲンランプの強力な輻射エネルギーを利用することで、従来の方式に比べ、溶剤の温度を極めて短時間で上昇させることが可能です。昇温プロセスの高速化により、１サイクルあたりの処理時間を大幅に削減し、製造ラインにおけるスループットの向上を実現します。