AI、IoT、ロボット、自動運転技術など新しい技術潮流の中で、
半導体、液晶、自動車、鉄鋼といった幅広い産業分野を支えるべく、
お客様のニーズに合った加熱装置を設計・製造・販売しております。
半導体、液晶、自動車、鉄鋼といった幅広い産業分野を支えるべく、
お客様のニーズに合った加熱装置を設計・製造・販売しております。
真空平面加熱ユニット
平面を均一に加熱ができ、主に半導体製造工程で使用されております。
熱源にはU字型ハロゲンヒーターを採用し、 輻射加熱（光）にて
ワークを加熱することで高効率かつ素早い昇温が可能となります。 特長としては均一に昇温する為に、ゾーン制御を行っております。
横型管状炉ユニット
熱源に半円型ハロゲンヒーターを採用し、
輻射加熱（光）にてワークを加熱することで
高効率かつ素早い昇温が可能となります。
特長としては18kWと高出力であり、石英炉心管内のワーク（カーボン・ウエハなど）を1000℃以上に加熱することが可能です。
また水冷構造によって定格加熱時の表面温度が約50℃程度となり、φ300の炉心管やユニットを連結することにより長尺仕様などの
専用設計にも対応しております。
高温横型管状炉ユニット
熱源に二珪化モリブデンヒーターを使用しており、
炉体開閉式の為、炉心管設置・容易となります。
特徴としては、2.4kWと低出力でありながら、
炉内温度1500℃（炉心管内1400℃）まで加熱することが可能です。
（昇温スピードは別途相談となります。）
またヒーターを連結することで長尺仕様などの専用設計にも
対応しております。
